В процессе магнетронного распыления исходный материал, называемый мишенью, испаряется для нанесения тонкой высокоэффективной пленки на такие изделия, как полупроводники, стекло и дисплеи. Состав мишени напрямую определяет свойства покрытия, поэтому выбор материала имеет решающее значение.
Используется широкий спектр металлов, каждый из которых выбран за определенные функциональные преимущества:
Фундаментные металлы для электроники и межслойные покрытия
Медь высокой чистоты ценится за исключительную электропроводность. Достижение чистоты меди в 99,9995% имеет решающее значение для создания микроскопических проводников (межсоединений) внутри современных микрочипов, где минимальное электрическое сопротивление крайне важно для скорости и эффективности.
Высокочистый никель — универсальный материал, широко используемый в различных областях. Он в основном служит в качестве слоя с превосходной адгезией и надежного диффузионного барьера, предотвращая смешивание различных материалов и обеспечивая структурную целостность и долговечность многослойных устройств.
Тугоплавкие металлы, такие как вольфрам (W) и молибден (Mo), ценятся за высокую термостойкость и стабильность, часто используются в качестве надежных диффузионных барьеров и для контактов в сложных условиях эксплуатации.
Специализированные функциональные металлы
Серебро высокой чистоты обладает самой высокой электрической и тепловой проводимостью среди всех металлов. Это делает его идеальным материалом для нанесения высокопроводящих, прозрачных электродов на сенсорные экраны и для создания блестяще отражающих, низкоэмиссионных покрытий на энергосберегающих окнах.
Драгоценные металлы, такие как золото (Au) и платина (Pt), используются для создания высоконадежных, коррозионностойких электрических контактов, а также в специализированных датчиках.
Переходные металлы, такие как титан (Ti) и тантал (Ta), играют решающую роль благодаря своим превосходным адгезионным и барьерным свойствам, часто образуя базовый слой на подложке перед нанесением других материалов.
Хотя этот разнообразный набор материалов позволяет создавать современные технологии, характеристики меди по проводимости, никеля по надежности и серебра по превосходной отражательной способности остаются непревзойденными в своих областях применения. Стабильное качество этих металлов высокой чистоты является основой высокоэффективных тонкопленочных покрытий.
Дата публикации: 24 ноября 2025 г.
